半導體行業中rayvet雷竞技的應用

智能手機、平板電腦、遊戲機、導航係統、純平顯示器，這些以及其他很多高科技產(chan) 品由於(yu) 半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 才得以存在。在半導體(ti) 芯片生產(chan) 線製程工藝中，會(hui) 使用到特種工藝氣體(ti) ，也會(hui) 產(chan) 生大量危險性氣體(ti) ，需要使用rayvet雷竞技對空氣中有毒有害氣體(ti) 含量進行檢測，防止因氣體(ti) 泄漏，導致危險發生。

（東(dong) 日瀛能 SK/MIC-800-GAS-Y 便攜式rayvet雷竞技）

特種工藝氣體

目前，應用於(yu) 半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 的特種氣體(ti) 有110餘(yu) 種，常用的有20-30種。

按其危險性分類可分為(wei) ：惰性氣體(ti) 、易ran氣體(ti) 、毒性氣體(ti) 、腐蝕性氣體(ti) 、氧化性氣體(ti) 、低溫氣體(ti) 。

1惰性氣體(ti)

不可燃氣體(ti) 有N2、Ar、He等，它們(men) 具有窒息性，即取代肺中的氧氣後能讓人窒息而死。

2易ran氣體(ti)

易ran氣體(ti) 有C2H2、H2、CH4、SIH4、PH3、NH3等，它們(men) 具有窒息性，可燃性，其中有些氣體(ti) 如H2、CH4、SIH4、PH3還具有爆炸的可能性。

3毒性氣體(ti)

毒性氣體(ti) 有AsH3、PH3、COCL2等,它們(men) 的毒性對身體(ti) 有害，有的可能造成人員中毒死亡。中毒途徑有吸人、吸收(通過皮膚)、吞食、注射(通過傷(shang) 口)。

4腐蝕性氣體(ti)

腐蝕性氣體(ti) 可分為(wei) 低腐蝕性氣體(ti) 如HF、BCL3、和高腐蝕性氣體(ti) 如HCL、BF3、二氯甲烷(DCS)、三lv甲烷(TCS)及三氯化氯(CLF3)等，它們(men) 具有摧毀人的生理組織以及腐蝕設備的危害。

5氧化氣體(ti)

氧化性氣體(ti) 有O2、N20等它們(men) 具有助燃性、高反應性。

6低溫氣體(ti)

低溫液體(ti) 是指在常壓下沸點低於(yu) -240，例如：液氧、液氬、液氮、液氫、液氦。它們(men) 的低溫可能會(hui) 引起凍傷(shang) ，以及引起周圍物品的損傷(shang) 危險，包括過冷、過大的體(ti) 積膨脹。

（東(dong) 日瀛能 SK-7500-GAS-Y 固定汙染源廢氣氣體(ti) 在線監測預處理係統）

廢氣

半導體(ti) 芯片生產(chan) 過程中，會(hui) 產(chan) 生大量的有毒有害氣體(ti)

主要包括：酸堿廢氣和有機廢氣兩(liang) 類。

酸/堿廢氣包括：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

有機廢氣包括：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；

主要危害：

半導體(ti) 芯片生產(chan) 線的切題危害，主要是器件清洗等表麵處理過程中因使用一些化學藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物）揮發造成的，以及整機裝配過程中產(chan) 生的粉塵，會(hui) 造成人群慢性或急性中毒。

檢測儀器

東(dong) 日瀛能SK/MIC-600-GAS-Y固定式可燃有毒有害氣體(ti) 濃度檢測儀(yi) 與(yu) SK/MIC-800-GAS-Y便攜式可燃有毒有害氣體(ti) 濃度檢測儀(yi) 采用進口傳(chuan) 感器，抗中毒，高穩定性高精度，可實時在線監測其濃度，自帶顯示與(yu) 聲光報警。固定式自帶4-20MA、RS485以及開關(guan) 量輸出，可定製無線傳(chuan) 輸數據，高低報警值自由設置，當氣體(ti) 濃度超標時，自動發出85dB以上的報警聲響，聯動排氣扇等設備，做出相應的防護動作。精度高、穩定性強、誤差率低；配備工業(ye) 級鋁合金防護外殼，堅固耐用。

（東(dong) 日瀛能 SK/MIC-600-GAS-Y 固定式rayvet雷竞技）