三氟化氮(nitrogen trifluoride)化學式NF₃,在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體(ti) ,是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業(ye) 中作為(wei) 一種優(you) 良的等離子蝕刻氣體(ti) ,在離子蝕刻時裂解為(wei) 活性氟離子,這些氟離子對矽和鎢化合物,高純三氟化氮具有優(you) 異的蝕刻速率和選擇性(對氧化矽和矽),它在蝕刻時,在蝕刻物表麵不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片製造、高能激光器方麵得到了大量的運用。
(東(dong) 日瀛能 SK/MIC-600-NF3-Y 在線式三氟化氮檢測儀(yi) )
三氟化氮是低毒性物質,但是它能強烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜,腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長期吸入低濃度NF3能損傷(shang) 牙齒和骨骼,使牙齒生黃斑,骨骼成畸形。具有強氧化性。與(yu) 還原劑能發生強烈反應,引起燃燒爆炸。與(yu) 易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會(hui) 發生劇烈反應,甚至引起燃燒。受高熱發生劇烈分解,甚至發生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小時末見死亡,但出現高鐵血紅蛋白血症,當吸入10000ppm·l小時有死亡,在2500ppm時吸毒後4小時死亡。容許濃度:10ppm(29mg/m3)。
如何才能不超過這個(ge) 10ppm濃度限製呢?就需要用到三氟化氮檢測儀(yi) ,使用東(dong) 日瀛能三氟化氮氣體(ti) 濃度檢測儀(yi) 可以檢測其濃度,固定式三氟化氮檢測儀(yi) 安裝於(yu) 氣體(ti) 最易泄露的地點,其核心部件為(wei) 氣體(ti) 傳(chuan) 感器,當三氟化氮泄露後揮發出來的氣體(ti) 傳(chuan) 感器接觸反應,固定式三氟化氮監測儀(yi) 便會(hui) 啟動自身的報警功能聲光報警,警醒工作人員。
(東(dong) 日瀛能 SK/MIC-800-NF3-Y 便攜式三氟化氮檢測儀(yi) )
工作人員另外可佩戴便攜式三氟化氮檢測儀(yi) 。便攜式三氟化氮泄漏檢測儀(yi) 可連續檢測作業(ye) 環境中三氟化氮濃度。采用進口電化學傳(chuan) 感器,具有很好的靈敏度和出色的重複性;三氟化氮檢測儀(yi) 采用嵌入式微控製技術,菜單操作簡單、功能齊全、可靠性高。